洁净车间功能温度测试:应将洁净工作区划分为等面积的栅格,每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定,每格测点1个以上,每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度,距的吊顶、墙面和地面不小于300mm,并应考虑热源等的影响,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数稳定后做好记录。洁净车间一般温度测试的测点,每个温度控制区或每个房间1个测点,测试点高度宜为工作面高度,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数稳定后做好记录。
洁净车间湿度的测试:湿度测试可采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同,应一同测试。
温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力,温度测试应在洁净车间进行调试,气流均匀性测试完成,并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。洁净车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。